扫描电子显微镜用于金属失效分析，其原理是依据电子与物质的相互作用，当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品形貌、组织、元素组成等信息。该设备主要用于特种设备金属材料深度分析和失效分析，既可以为特种设备安全运行提供保障，更可以为特种设备事故调查分析提供强有力的技术支持。